Cómo elegir un vacuómetro Infineon

Primero, el vacuómetro Pirani

1. El principio del vacuómetro Pirani calienta el cable de resistencia a la temperatura de funcionamiento requerida. Debido a que las partículas de gas chocan con el cable de la resistencia y le quitan energía, la temperatura del cable de la resistencia cambia. La pérdida de energía del alambre caliente es proporcional a la concentración y composición del gas alrededor del alambre caliente.

2. Deducir dos tipos de reglas Pirani.

1) Estabilice la temperatura y mida el cambio en el voltaje aplicado para medir el equivalente de vacío.

2) Estabilice el voltaje y mida el cambio de temperatura para medir el vacío equivalente (medidor de termopar).

3. La conducción de calor del gas está relacionada con las siguientes condiciones:

1) Tipo de gas 2) Tamaño de presión

4 Rango de medición del vacuómetro Pirani. y precisión Rango de medición (aire, oxígeno, monóxido de carbono, nitrógeno): 5 x 10-4 a 1000 mbar Precisión (nitrógeno): 1x10-3...100 mbar.

5. Las excelentes características del vacuómetro Pirani protegen al máximo la parte del filamento sin afectar la precisión y la velocidad, extendiendo en gran medida la vida útil del filamento.

6. Modelo específico de vacuómetro Pirani

Vacuómetro compuesto de diafragma capacitivo Pirani

1) Se combinan el manómetro Pirani y reglas especiales de membrana cerámica.

2) Todo el proceso de ajuste en el que funcionan dos principios.

3) 100 mbar-1000 mbar utiliza señal de manómetro de membrana.

4) Utilizar señales de 1 mbar – 100 mbar simultáneamente.

5) 5 barras de 10-4 m: la barra de 1 m utiliza señal Pirani.

6) La señal de vacío (voltaje) de salida continúa sin transición.

7) El vacuómetro Pirani se utiliza para medir la presión de la etapa frontal de varias bombas de alto vacío en diversas industrias, como las industrias fotovoltaica, de recubrimiento y de plasma, como la iluminación, la metalurgia, el control de bloqueo de vacío L, y control del interruptor de encendido del medidor de alto vacío.

2. Medidor de tensión de película capacitiva

1. Principio de funcionamiento del medidor de tensión de película capacitiva: la presión L hace que el diafragma se deforme y la cantidad de deformación es proporcional a la presión. lMida el grado de vacío midiendo la deformación del diafragma cerámico bajo diferentes presiones.

2. El manómetro de membrana capacitiva tiene las siguientes características: l Basado en una cámara de sensor de cerámica ultrapura confiable; l Medición de presión de alta precisión estable y confiable en ambientes hostiles y corrosivos l Rápido tiempo de precalentamiento y recuperación; , mejorando la productividad; l Excelente estabilidad, reproducibilidad y repetibilidad a largo plazo; l Dado que los componentes electrónicos están montados directamente en el sensor, la compensación de temperatura mejorada y la compatibilidad EMC reducen la sensibilidad a los cambios en las condiciones ambientales, lo que hace que la medición sea más estable y se caliente rápidamente. arriba, estabilizarse rápidamente y entrar en estado de espera dentro de un minuto después del inicio y botón de un toque: función cero y ajuste del punto de ajuste; Los sensores de cerámica ultrapura resistentes a la corrosión pueden soportar millones de ciclos de presión, incluidos golpes de presión atmosférica, sin ningún signo de degradación y recuperarse rápidamente después de la exposición a la presión atmosférica. No se requiere válvula de aislamiento, no es sensible a los medios de vapor, el blindaje avanzado del sensor (patentado) extiende la vida útil del vacuómetro durante procesos de contaminación.

3. Ventajas de la tecnología cerámica

1) Sin efecto memoria.

2) La cerámica no tiene problema de fatiga.

3) Mejor compensación de temperatura

4) Buena estabilidad en cero, bajo coste de uso

5) Vida útil extraordinaria

6) No se requiere válvula de aislamiento.

4. Rango de medición

5. Manómetro de película caliente

6. Ventajas del tipo de calefacción l La deriva del punto cero es extremadamente pequeña 0,1% FS/año ( Ambiente de vacío limpio) l Mayor precisión l Los cambios de temperatura ambiente/cambios de presión ambiental/cambios de flujo de aire ambiental no tienen efecto en la precisión l El tiempo de inicio de precalentamiento es más rápido que el proceso l Tiempo de recuperación rápido Presión atmosférica

7. Galga extensométrica capacitiva de película delgada La aplicación tiene requisitos muy altos en cuanto a las condiciones de aplicación. La medición de presión rápida y precisa L se utiliza en la fabricación de equipos semiconductores de grabado, CVD, PVD y ALD, como PECVD en la industria solar fotovoltaica. Los tipos cerámicos se utilizan generalmente para grabado y tienen buenas propiedades anticontaminación.

Tercero, desviación termoeléctrica

1. Desviación termoeléctrica Principio del efecto Richardson: el filamento de alta temperatura emite electrones, los electrones de alta energía chocan con las moléculas de gas y uno o más electrones del Las moléculas de gas son eliminadas, formando iones cargados positivamente.

1) Los iones cargados son capturados por el colector de iones, recogidos y amplificados antes de su salida.

2) El caudal de iones es proporcional a la presión del gas.

2. Dos tipos de manómetros de desviación termoeléctricos

3. Manómetro compuesto de liberación termoeléctrica L HP G400L bpg 400/-SP/-SD/SR L bpg 402 L BCG 450 b-A presión Manómetro, manómetro Pirani y manómetro de membrana combinados L.

4. Ventajas y aplicaciones: l BPG n tiene un amplio rango de medición, un manómetro cubre 13 rangos de medición 5x 10-10–1000 mbar n, con alta precisión y excelente repetibilidad. El filamento chapado en iridio y nitrio al 5 % tiene una excelente resistencia a la oxidación y protección autoblocante Pirani. El filamento no se quemará debido a la exposición repentina a la atmósfera.

N El ajuste de calibración es conveniente N Notas: U es selectivo para gases, U tiene una capacidad anticontaminación débil, N se usa ampliamente en mediciones de vacío bajo a ultra alto, N se usa ampliamente en la industria, las industrias de semiconductores y de investigación científica, l BPG402 n doble filamento La vida útil se extiende enormemente y el trabajo del medidor de ionización N se puede personalizar para controlar los parámetros de calibración de los repuestos de la sonda N. Precisión y repetibilidad garantizadas l HPG400 n Medidor de ionización y compuesto de Pirani N Medidor de ionización con protección autoblocante Pirani N El punto de inicio de trabajo del medidor de ionización se puede personalizar dentro de un rango determinado N Función de calibración simple N Precio relativamente económico l BCG450 n Medidor de ionización ajustable Punto inicial de trabajo N Excelente repetibilidad N Medición precisa del punto final atmosférico.

Cuarto, medidor de ionización en frío (medidor de panorámica)

1. El principio del medidor de ionización en frío es generar electrones a través de una descarga de gas, y los electrones ganan energía a través del campo magnético para ionizarse. moléculas de gas. 2. Características y aplicaciones del calibre Penning L Rango de medición: 5x10-9 a 0x1x10-2 mbar L Sello completamente metálico L Sin filamento L Fácil de limpiar L Adecuado para mediciones ordinarias de alto vacío.

3. Características y aplicaciones de la máquina cabezal en frío MPG400. El rango de medición combinado de los manómetros en frío y Pirani es muy amplio: 5x10-9-1000 mbar. Fácil de mantener y limpiar. L no tiene filamento de alto vacío y L se utiliza para mediciones ordinarias de alto vacío.