¿Cuáles son las características de los sensores de presión de estado sólido?
Características de los sensores de presión de estado sólido:
1. Alta sensibilidad
El factor de sensibilidad de las resistencias de tensión de silicio es de 50 a 100 veces mayor que el del metal. galgas extensométricas, por lo que la sensibilidad del sensor correspondiente es muy alta y la salida general a escala completa es de aproximadamente 100 mv. Por lo tanto, no existen requisitos especiales para el circuito de interfaz y el coste de la aplicación es correspondientemente bajo. Debido a que es un sensor de estructura no mecánica, su resolución es extremadamente alta. Se le llama infinita en el exterior, es decir, está limitada principalmente por las limitaciones de los instrumentos de detección y lectura externos y las limitaciones de interferencia de ruido. milésima de la escala completa del sensor Uno o menos. El sensor piezoresistivo de silicio no tiene zona muerta en el rango bajo cerca del punto cero y tiene una linealidad excelente.
2. Alta precisión
Debido a la detección del sensor de presión piezoresistivo de estado sólido, las piezas sensibles de conversión y detección se realizan mediante el mismo componente, no existe un enlace de conversión intermedio, por lo que no hay ningún enlace de conversión intermedio. No hay repetibilidad ni histéresis. El error es extremadamente pequeño. Al mismo tiempo, debido a que el monocristal de silicio tiene una alta rigidez y una pequeña deformación, se garantiza una buena linealidad, por lo que la precisión estática general es muy alta.
3. Tamaño pequeño, peso ligero, respuesta de frecuencia dinámica alta
Debido a que el núcleo adopta tecnología integrada y no tiene componentes de transmisión, es de tamaño pequeño y liviano. Debido al pequeño tamaño del chip y al extremadamente alto módulo de elasticidad del silicio, la frecuencia natural del elemento sensible es muy alta. En aplicaciones dinámicas, la precisión dinámica es alta, el ancho de banda de frecuencia es amplio y la apariencia del sensor se selecciona apropiadamente, y el ancho de banda puede ser desde frecuencia cero hasta 100 kilohercios.
4. Rendimiento estable y alta confiabilidad
Dado que la deformación elástica de trabajo es tan baja como el orden de la microdeformación, el desplazamiento máximo de la película elástica es del orden de sub. -micras, por lo que no hay desgaste, fatiga ni envejecimiento. La vida útil es de más de 107 ciclos de presión.
5. Coeficiente de temperatura pequeño
Debido al avance de la tecnología microelectrónica, la consistencia de las cuatro resistencias de tensión puede ser muy alta. Además, con el avance de la tecnología de corte por láser. Tecnología de compensación automática por computadora. En la actualidad, la posición cero y el coeficiente de temperatura de sensibilidad de los sensores piezoresistivos de silicio han alcanzado el orden de 10-5 / ℃, lo que significa que en el campo de los sensores de presión, ha superado el nivel. de sensores extensométricos con pequeños coeficientes de temperatura.
6. Adaptable a una amplia gama de medios
Debido a las excelentes propiedades químicas anticorrosivas del silicio y su buena compatibilidad con el aceite de silicona, la estructura aislada es fácil de implementar. Aunque los sensores de presión piezoresistivos no aislados también tienen una considerable capacidad de adaptación a diversos medios.
7. Seguridad y a prueba de explosiones
Debido a sus características de bajo voltaje, baja corriente y bajo consumo de energía, es un producto intrínsecamente seguro y a prueba de explosiones y puede usarse ampliamente. en diversos campos de detección y control de la industria química, etc., con el mejor rendimiento de costos.