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¿Cómo mantener la máquina de recubrimiento al vacío (equipo de recubrimiento al vacío)?

Si la bomba de difusión del equipo de recubrimiento al vacío se ha utilizado de forma continua durante más de 6 meses, la velocidad de bombeo disminuirá significativamente o puede funcionar incorrectamente y llenarse de atmósfera. Retire la tubería de agua de conexión. , retire la placa de la estufa eléctrica y reemplace la primera etapa. Desenrosque la boquilla, primero limpie la cámara de la bomba y la vesícula biliar con gasolina, luego lávela nuevamente con detergente mezclado con agua y luego enjuáguela bien con agua limpia. Se evapora, instale la vesícula biliar de la bomba y agregue aceite nuevo de la bomba de difusión. Vuelva a instalar el cuerpo de la máquina, conecte las tuberías de agua, instale la estufa eléctrica y luego podrá reiniciar la máquina. Antes de reiniciar, preste atención al trabajo de detección de fugas. Arranque la bomba de mantenimiento, cierre la puerta y después de unos minutos, observe si el grado de vacío parcial de la bomba de difusión alcanza 6X10 Pa; de lo contrario, se requiere una detección de fugas. Compruebe si el anillo de sellado está instalado en la junta o si está dañado. El calentamiento solo se puede realizar después de eliminar el riesgo de fuga de aire; de ​​lo contrario, el aceite de la bomba de difusión quemará el anillo y no podrá entrar en condiciones de funcionamiento.

Cada vez que el equipo de recubrimiento al vacío completa más de 200 procedimientos de recubrimiento, se debe limpiar el estudio una vez. Utilice una solución saturada de soda cáustica (NaOH) para frotar repetidamente la pared de la cámara de vacío (tenga en cuenta que la piel humana no puede entrar en contacto directo con la solución de soda cáustica para evitar quemaduras). El propósito es hacer que el material de la película recubierta sea de aluminio (AL). reaccione con NaOH y la capa de película se caerá después de la reacción y liberará el hidrógeno, luego limpie la cámara de vacío con agua limpia y use un paño humedecido en gasolina para limpiar la suciedad en la válvula de extracción fina.

Cuando la bomba bruta (bomba de válvula deslizante, bomba de paletas rotativas) de la máquina de recubrimiento al vacío (equipo de recubrimiento al vacío) funciona continuamente durante un mes (reducido a la mitad en la temporada de lluvias), es necesario reemplazar el aceite nuevo. Drene completamente el aceite viejo de la bomba. Vuelva a apretar el perno de drenaje de aceite y agregue aceite nuevo hasta la cantidad nominal (observe la mirilla de aceite). Después de un uso continuo durante más de medio año, se debe abrir la tapa del aceite al cambiar el aceite y se debe limpiar la suciedad del tanque con un paño.