¿Qué es una máquina de litografía?
Utiliza una tecnología similar a la impresión fotográfica, en la que los finos patrones de una máscara se imprimen en obleas de silicona mediante exposición. Existen muchas marcas de máquinas de litografía, que se pueden dividir en máquinas de litografía de proyección escalonada y de proyección de escaneo según diferentes rutas técnicas. La resolución suele oscilar entre 7 nanómetros y unas pocas micras. Las máquinas de litografía de alta gama son conocidas como los instrumentos más sofisticados del mundo. Hay máquinas de litografía por valor de 654,38 mil millones de dólares estadounidenses.
Las máquinas de fotolitografía de alta gama pueden considerarse la flor de la industria óptica moderna. Son tan difíciles de fabricar que sólo unas pocas empresas en el mundo pueden fabricarlas. Las principales marcas extranjeras son ASML de los Países Bajos (lentes de Alemania), Nikon del Japón (máquinas de fotolitografía de alta gama; Intel alguna vez le compró Nikon) y Canon del Japón.
Índice de rendimiento del alineador de máscara
Los principales indicadores de rendimiento de la máquina de litografía son: rango de tamaño de sustrato admitido, resolución, precisión de alineación, método de exposición, longitud de onda de la fuente de luz, uniformidad de la intensidad de la luz, producción. eficiencia, etc
Resolución: Es una descripción de la precisión de línea más fina que la fotolitografía puede lograr. La resolución de la fotolitografía está limitada por la difracción de la fuente de luz, por lo que está limitada por la fuente de luz, el sistema de fotolitografía, el fotorresistente y el proceso.
Precisión de alineación: se refiere a la precisión de posicionamiento de los patrones entre capas durante la exposición multicapa.
Método de exposición: contacto de proximidad, proyección, escritura directa.
Longitud de onda de la fuente de luz de exposición: dividida en regiones ultravioleta, ultravioleta profundo y ultravioleta extremo. Las fuentes de luz incluyen lámparas de mercurio y láseres excimer.
Sistema de alineación: la fabricación de sistemas de alineación de alta precisión requiere una tecnología mecánica de precisión casi perfecta, que es también una de las dificultades técnicas que las máquinas de fotolitografía domésticas no pueden igualar. Muchas marcas estadounidenses y alemanas de máquinas de litografía tienen diseños de tecnología mecánica patentados especializados.
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