El mayor fabricante de máquinas de fotolitografía de China.
En la actualidad, Shanghai Microelectronics ha producido en masa las máquinas de litografía de la serie SSA600/20 más avanzadas, que todavía utilizan tecnología de fuente de luz ArF de 193 nm y se pueden utilizar para chips de gama baja de 90 nm. Más importante aún, los equipos de litografía de Shanghai Microelectronics representan casi el 80% de la participación de mercado en el campo nacional de equipos de litografía de gama baja. Según los últimos informes de los medios oficiales nacionales, la máquina de litografía de próxima generación de Shanghai Microelectronics con un nodo de proceso de 28 nm puede producirse en masa y entregarse el próximo año, lo que significa que los equipos de litografía nacionales están a punto de desencadenar una ola de mejoras en China. . Shanghai Microelectronics, que ha logrado importantes avances tecnológicos, tiene un potencial ilimitado para el desarrollo futuro. Shanghai Microelectronics Equipment Co., Ltd. está ubicada en el parque de alta tecnología de Zhangjiang, adyacente a muchas bases nacionales, como la Base Nacional de la Industria de Circuitos Integrados, la Base Nacional de la Industria de Iluminación de Semiconductores y la Base Nacional de Industrialización (Este) de Logros de Seguridad de la Información 863. . La empresa se fundó en 2002 y se dedica principalmente a la I+D, la producción, la venta y el servicio de máquinas de litografía de proyección para la producción industrial a gran escala. Sus productos pueden usarse ampliamente en la fabricación de circuitos integrados y embalajes avanzados, MEMS, TSV/3D, diodos emisores de luz orgánicos TFT y otros campos de fabricación.
En la actualidad, los fabricantes de máquinas de fotolitografía de China se están desarrollando rápidamente. Aunque están un paso por detrás de los países occidentales, el futuro es brillante. Hay muchos tipos y marcas de máquinas de litografía, y sus funciones importantes también son diferentes. MaskAligner, también conocido como máquina de exposición de alineación de máscaras, sistema de exposición y sistema de litografía, es el equipo principal para fabricar chips. Utiliza una tecnología similar a la impresión fotográfica, en la que se imprimen finos patrones de una máscara en obleas de silicio mediante exposición. Existen muchas marcas de máquinas de litografía, que se pueden dividir en las siguientes categorías según diferentes rutas técnicas: Las máquinas de litografía de proyección de alta gama se dividen en dos tipos: máquinas de litografía de proyección escalonada y de escaneo. La resolución suele estar entre siete nanómetros y. varias micras. Las máquinas de litografía de alta gama son conocidas como los instrumentos más sofisticados del mundo. Hay máquinas de litografía en el mundo por valor de 120 millones de dólares. Las máquinas de litografía de alta gama pueden considerarse la flor de la industria óptica moderna. Son tan difíciles de fabricar que sólo unas pocas empresas en el mundo pueden fabricarlas. Las principales marcas extranjeras son ASML de los Países Bajos (lentes de Alemania), Nikon del Japón (máquinas de fotolitografía de alta gama; Intel alguna vez le compró Nikon) y Canon del Japón. SMEE Company, ubicada en Shanghai, China, desarrolló una máquina de litografía de proyección de rango medio con derechos de propiedad intelectual independientes, formó una serie de productos e inicialmente logró ventas nacionales y extranjeras. Se están llevando a cabo actividades de I+D y producción de otras series de productos. Las máquinas de litografía de gama baja utilizadas en las líneas de producción y en I+D son máquinas de litografía de proximidad y de contacto, con resoluciones normalmente superiores a unas pocas micras. Incluye principalmente sus marcas alemanas, MYCRONXQ4006 estadounidense y chinas.
Las máquinas de litografía generalmente se dividen en tres tipos según la simplicidad de su funcionamiento: manuales, semiautomáticas y totalmente automáticas. a Manual: se refiere al método de ajuste de alineación, es decir, la alineación se completa ajustando manualmente la perilla para cambiar el ángulo de Realizar posicionamiento y alineación c automático: se refiere a la carga y descarga desde el sustrato, y el tiempo de exposición; y el ciclo son controlados por el programa. Las máquinas de litografía automática satisfacen principalmente las necesidades de capacidad de procesamiento de la fábrica. La fabricación de sistemas de alineación de alta precisión requiere una tecnología mecánica de precisión casi perfecta, que es también una de las dificultades técnicas que las máquinas de fotolitografía domésticas no pueden superar. Muchas marcas estadounidenses y alemanas de máquinas de litografía tienen diseños de tecnología mecánica patentados especializados. Por ejemplo, la máquina de litografía Mycron&q adopta una tecnología patentada de diseño de cojinetes totalmente neumáticos, que evita de manera efectiva los errores de proceso causados por la fricción mecánica de los cojinetes. Otro problema técnico con el sistema de alineación es la alineación del microscopio. Para mejorar el campo de visión del microscopio, muchas máquinas de litografía de alta gama utilizan iluminación LED. Hay dos sistemas de alineación con capacidades de enfoque. Principalmente, un par de cuerpos de microscopio, oculares y objetivos se alinean mediante binoculares y campos de visión duales (las máquinas de fotolitografía suelen proporcionar oculares y objetivos con diferentes aumentos para que los usuarios los utilicen en combinación). La función del sistema de alineación CCD es amplificar las marcas de alineación de la máscara y muestrearlas y visualizarlas en el monitor.