¿Por qué el elipsómetro no puede medir el espesor epitaxial?
El espesor epitaxial no es una película fina. El espesor epitaxial se refiere al espesor del material sólido que crece sobre el sustrato, no una película delgada. Un elipsómetro es un dispositivo de medición óptica que se utiliza para detectar el espesor, las constantes ópticas y la microestructura de materiales de películas delgadas. El elipsómetro sólo puede medir las constantes ópticas de la película y no puede medir directamente el espesor físico del material. Por lo tanto, el elipsómetro no puede medir el espesor epitaxial porque el espesor epitaxial no es una película delgada.
Precauciones al usar el elipsómetro: Al usarlo, siga estrictos procedimientos operativos de seguridad, especialmente proteja sus ojos al observar fuentes de luz intensas.