Principio de grabado en seco de la película fina de oro

El gas plasma realiza un grabado dual físico y químico de los materiales. El grabado en seco es una tecnología que utiliza plasma para grabar películas delgadas. La actividad química de estos gases en el plasma es mucho más fuerte que en condiciones normales y puede reaccionar con los materiales más rápido. También se pueden usar campos eléctricos para guiar y acelerar el plasma. al bombardear la superficie del objeto a grabar, logrando así el propósito del grabado mediante la utilización de transferencia de energía física.