¿Cuáles son los instrumentos para medir el espesor?
Para medir el espesor, se pueden utilizar instrumentos de medición a nanoescala actualmente populares: perfilómetro óptico de superficie 3D, microscopio de enfoque láser *** y medidor de pasos.
1. Perfilador de superficie óptico 3D (óptico, sin contacto)
El perfilador de superficie óptico 3D utiliza el principio de la tecnología de interferencia de luz blanca para medir la forma tridimensional de la superficie. midiendo cambios en franjas de interferencia Se utiliza especialmente para la medición rápida sin contacto de la rugosidad de la superficie, la micromorfología, el contorno y el tamaño de piezas clave de piezas de precisión.
2. Microscopio de enfoque láser (óptico, sin contacto)
El microscopio de enfoque láser se basa en el sistema óptico de enfoque de disco giratorio, combinado con alta estabilidad El diseño estructural y el algoritmo de reconstrucción 3D juntos forman un sistema de medición, que se puede utilizar para la medición micro-nano sin contacto de varios dispositivos de precisión y superficies de materiales. Puede medir la morfología física de la superficie y realizar análisis de morfología tridimensional a escala micronano, como morfología de superficie 3D, morfología de profundidad 2D, contorno (profundidad, ancho, curvatura, ángulo), rugosidad de la superficie, etc.
Perfilador óptico de superficies 3D SuperViewW1
Microscopio de enfoque VT6000***
3. La diferencia entre el medidor de pasos y el medidor de perfil óptico y el microscopio es que su método de medición es la medición con sonda de contacto. Puede medir el espesor y la altura de la película, la topografía de la superficie, las ondulaciones de la superficie y la rugosidad de la superficie de micras y nanoestructuras. Sensor de capacitancia diferencial lineal variable (LVDC), con resolución subangstrom, hasta 0,01 angstrom en el rango de 13um. La alta relación señal-ruido y el bajo error lineal permiten que el producto explore características morfológicas de pasos desde unos pocos nanómetros hasta cientos de micrómetros.