Soluciones para proyectos de depuración

La mayoría de las fábricas de purificación, especialmente las utilizadas en la industria electrónica, tienen requisitos estrictos de temperatura y humedad constantes. No solo tienen requisitos estrictos para la temperatura y la humedad en la fábrica, sino que también tienen requisitos estrictos para la temperatura y la humedad en la fábrica. fluctuación de temperatura y humedad relativa. El alcance también tiene requisitos estrictos. Por lo tanto, se deben tomar las medidas correspondientes en el tratamiento del aire de los sistemas de aire acondicionado purificados, como enfriamiento y deshumidificación en verano (porque el aire exterior tiene alta temperatura y alta humedad en verano) y calefacción y humidificación en invierno (porque el aire exterior es frío y seco en invierno), la baja humedad interior generará electricidad estática, que es fatal para la producción de productos electrónicos).

Para el problema de humidificación de los sistemas de aire acondicionado purificados, existen muchos métodos de humidificación comúnmente utilizados, incluida la humidificación con agua, como rociado de agua, película húmeda, onda ultrasónica rociada a alta presión, etc. -Procesos de humidificación por entalpía. La pulverización de vapor, la pulverización de vapor seco y la humidificación con electrodos (calefacción eléctrica) pulverizan vapor en el suministro de aire del aire acondicionado, y su método de humidificación es un proceso de humidificación isotérmica.

En términos de garantizar la precisión de la humedad relativa en la sala limpia, la precisión del control de los métodos de humidificación de agua anteriores, como rociado de agua, rociado a alta presión y película húmeda, no es alto. cuando la precisión de la humedad relativa en la sala limpia es ≤±10, es mejor no utilizarla. Se utilizan los métodos de pulverización de vapor seco y humidificación por calentamiento eléctrico (electrodo). Al rociar vapor seco para humidificación, se debe tener en cuenta que los humidificadores de vapor seco tienen un problema con la eficiencia del rociado de vapor. No todo el vapor rociado en la caja del aire acondicionado se agrega al suministro de aire del aire acondicionado y parte del mismo se convierte. agua condensada y se descarga. Por lo tanto, al seleccionar la cantidad de humidificación con vapor seco, se debe considerar la eficiencia de la pulverización de vapor. Algunos fabricantes dan una eficiencia de pulverización de vapor de 70.

Varios humidificadores tienen diferentes rangos de aplicación: tales como: humidificadores de agua como rociador de agua, película húmeda, rociador de alta presión, etc., que se caracterizan por una gran capacidad de humidificación, bajo costo de inversión y humedad relativa. Por lo tanto, se utiliza principalmente para la humidificación de sistemas de aire acondicionado en plantas industriales y, en general, en habitaciones confortables con aire acondicionado donde los requisitos de humedad relativa no son estrictos (gt; ±10) y la capacidad de humidificación es grande. La humidificación con vapor seco y la humidificación con electrodos (calefacción eléctrica) con alta precisión de control de humedad relativa se utilizan principalmente en la humidificación de sistemas de aire acondicionado de salas limpias con temperatura y humedad constantes con requisitos estrictos de precisión de humedad relativa debido a su alta inversión.

Para salas blancas biológicas que controlan microorganismos (por ejemplo: productos biofarmacéuticos, quirófanos limpios, salas estériles, laboratorios de bioseguridad, salas experimentales de cría de animales estériles, etc.), el objetivo es controlar la generación y propagación de microorganismos. , Debido a que la humedad es las condiciones para el crecimiento y la reproducción de microorganismos, por lo tanto, los métodos de humidificación del agua, como rociar agua, películas húmedas y rociadores de alta presión, no se pueden utilizar en salas blancas biológicas, solo humidificación por vapor seco y electrodos (calefacción eléctrica). ) se puede utilizar humidificar.

Otra cuestión que vale la pena señalar es que en los últimos años, la humedad relativa del aire exterior en invierno en el sur de mi país, como Foshan, Guangzhou, y el este de China, como Shanghai y Suzhou, ha sido inferior a la relativa calculada. humedad para los acondicionadores de aire exteriores indicada en los "estándares". Por ejemplo, la humedad relativa exterior calculada en Foshan y Guangzhou en invierno es 70, y 75 en Shanghai y Suzhou. Sin embargo, la humedad relativa exterior medida en estos años es a veces sólo alrededor de 30. Por lo tanto, la cantidad de humidificación de la sala limpia construida y en funcionamiento es insuficiente, la humedad relativa interior es baja y no puede cumplir con los requisitos de diseño. Para simplificar y ahorrar dinero, algunas fábricas agregan una película húmeda o rociador al aire acondicionado original para humidificar y aumentar la cantidad de humidificación. Sin embargo, esto resulta contraproducente. No sólo no se puede agregar la cantidad de humedad, sino que la humedad agregada se saturará rápidamente y se convertirá en agua de condensación que precipitará, sin lograr así el propósito de humidificación. Debido a que la película húmeda y la pulverización a alta presión son procesos de humidificación de igual entalpía, el aire acondicionado antes de la humidificación debe calentarse a una determinada temperatura y luego humidificarse para lograr el propósito de la humidificación. No es factible sin calefacción.

Otra cuestión a la que se debe prestar atención a la hora de humidificar es el flujo de aire dentro del aire acondicionado que transporta agua. En algunos proyectos, el problema del transporte de agua durante la humidificación no se resolvió adecuadamente, como resultado, el filtro de eficiencia media e incluso el filtro de alta eficiencia detrás quedaron mojados por el agua transportada. En el caso de los humidificadores de vapor seco, también se debe prestar atención a la pendiente y la dirección de la tubería de vapor y de la tubería de condensado, para que el agua condensada pueda descargarse rápidamente del aire acondicionado. Si el humidificador está ubicado en la sección del ventilador del aire acondicionado, se deben tomar medidas para evitar que la condensación gotee sobre el motor, provocando un cortocircuito y un corte de energía del motor.

La ingeniería de purificación de microelectrónica óptica se define como la eliminación de partículas de polvo, aire nocivo, bacterias y otros contaminantes en el aire dentro de un cierto rango espacial, y la temperatura y humedad interior, la limpieza, la presión interior, la velocidad del flujo de aire y la distribución del flujo de aire, ruido. , la vibración, la iluminación y la electricidad estática se controlan dentro de un cierto rango de requisitos y se proporcionan en un espacio confinado especialmente diseñado.

La ingeniería de purificación de microelectrónica óptica, también conocida como sala limpia o sala limpia, se ha vuelto indispensable en semiconductores, fabricación de precisión, fabricación de cristal líquido, fabricación óptica, fabricación de placas de circuitos, bioquímica, medicina, fabricación de alimentos y otras industrias. .instalaciones importantes. En los últimos años, debido al desarrollo innovador de la tecnología, la demanda de alta precisión y miniaturización de productos se ha vuelto más urgente. Por ejemplo, la investigación y fabricación de circuitos integrados ultragrandes se ha convertido en un proyecto al que países de todo el mundo conceden gran importancia. importancia en el desarrollo de la ciencia y la tecnología Los conceptos de diseño y la tecnología de construcción de nuestra empresa se encuentran en una posición de liderazgo en la industria.

Los proyectos de purificación de microelectrónica óptica generalmente incluyen:

1. Área de producción limpia

2. Salas auxiliares limpias (incluidas salas de purificación de personal y salas de purificación de materiales y algunas viviendas). salas, etc.)

3. Área de gestión (incluida oficina, servicio, gestión y descanso)

4. Área de equipos (incluida la aplicación del sistema de purificación de aire acondicionado, sala eléctrica, alta- salas de agua pura y gas de alta pureza, y salas de equipos fríos y calientes)

Materiales

1. Las paredes y los techos de la planta de purificación generalmente están hechos de placas de acero de color sándwich de 50 mm de espesor. se caracteriza por una apariencia hermosa y una fuerte rigidez. Las esquinas en arco, puertas, marcos de ventanas, etc. generalmente están hechos de perfiles especiales de alúmina.

2. El suelo puede estar hecho de piso autonivelante de epoxi o piso de plástico resistente al desgaste de alta calidad. Si existen requisitos antiestáticos, se puede utilizar el tipo antiestático.

3. Los conductos de suministro y retorno de aire están hechos de láminas de zinc unidas térmicamente y están pegados con láminas de plástico de espuma PF retardante de llama que tienen buenos efectos de purificación y aislamiento térmico.

4. La salida de suministro de aire de alta eficiencia está hecha de un marco de acero inoxidable, que es hermoso y limpio. La placa de malla perforada está hecha de una placa de aluminio pintada, que no se oxida ni se pega al polvo. ser limpiado.

Soluciones de ingeniería de purificación de microelectrónica óptica:

En el proceso de diseño del proyecto de purificación se debe fortalecer el análisis y la comprensión del esquema de diseño de ingeniería de purificación para la industria de la microelectrónica óptica. ya sea que el proyecto sea un proyecto nuevo o un proyecto de renovación de una antigua fábrica, y la limpieza, temperatura y humedad requeridas se determinan en función de su tecnología de producción específica, proceso de producción y otros requisitos. Según las condiciones específicas del proyecto y la asequibilidad económica del fabricante, se deben considerar varios factores para determinar qué solución de purificación adoptar. Sólo de esta manera podemos diseñar una solución de purificación que pueda cumplir con los requisitos de producción y uso de la Parte A. Un coste de proyecto razonable. Solución económica, práctica y que ahorra energía.

1. Unidad combinada de tratamiento de aire, enfriador y salida de suministro de aire de alta eficiencia

Esta es la solución de diseño más tradicional para purificar sistemas de aire acondicionado. La unidad de tratamiento de aire combinada contiene varias secciones funcionales, como la sección de mezcla, la sección de filtro primario, la sección de enfriamiento de superficie, la sección de aire de retorno secundario (o sección intermedia), la sección de calefacción, la sección de humidificación, la sección de filtro de eficiencia media, la sección de ventilador, etc. La fuente de frío la proporciona el enfriador.

Ventajas:

A. El efecto del tratamiento del aire es bueno, porque el aire se ha concentrado y está menos contaminado durante el proceso de suministro de aire. El control de la temperatura y la humedad del suministro de aire es relativamente preciso;

B. Es más adecuado para fábricas con fuentes de frío centralizadas o más grandes;

Las fuentes de frío y calor de. Los aires acondicionados se pueden combinar con El sistema de aire acondicionado común de la fábrica es compartido o tiene fuentes de frío y calor independientes;

D La frecuencia de mantenimiento es baja;

E. en el taller es bajo.

Desventajas:

A. Requiere una sala de refrigeración de apoyo o un espacio exterior para colocar la unidad de bomba de calor. También es necesario tener una sala de aire acondicionado donde se coloque una unidad de tratamiento de aire combinada, como una unidad de tratamiento de aire combinada de 25000 m3/h, con una dimensión exterior común de aproximadamente 6450 × 1850 × 2250 mm. Para proyectos de renovación de edificios de fábricas antiguas, es difícil liberar una sala de máquinas de entre 20 y 30┫;

B.

Características:

A. Se recomienda concentrar el aire fresco y luego mezclarlo con el aire de retorno, lo que puede reducir la carga del tratamiento de enfriamiento de la sección de enfriamiento de la superficie. p>

B. Este tipo de solución generalmente se puede aplicar a fábricas purificadas y libres de polvo con niveles de limpieza más altos, como el nivel 100, el nivel 1000, el nivel 10,000 o el nivel 100,000.

2. Análisis del plan de diseño de ingeniería de purificación para la industria de la microelectrónica óptica: gabinete refrigerado por agua gabinete de aire presurizado salida de suministro de aire de alta eficiencia

En comparación con la solución anterior, esta es una solución de aire acondicionado relativamente sencilla. Puede reducir en gran medida el área de la sala de computadoras. El gabinete refrigerado por agua se puede colocar en una sala de computadoras más pequeña o en un taller de purificación según circunstancias específicas. El gabinete de aire presurizado también se puede colocar en la sala de computadoras o colgar en la sala de computadoras. sala de ordenadores o en el entrepiso.

Ventajas:

A. El efecto del tratamiento del aire es mejor y el aire tratado está menos contaminado durante el proceso de suministro de aire. El efecto de control de temperatura y humedad del suministro de aire se puede controlar mejor. Controlado principalmente en la unidad de tratamiento de aire (campana de aire presurizado);

B. Viene con su propia fuente de frío;

C Adecuado tanto para fábricas grandes como pequeñas, antiguas y nuevas;

D La frecuencia de mantenimiento es baja;

E. El ruido del taller es bajo.

Desventajas:

A. Se requiere una pequeña sala de ordenadores. Es necesario colocar torres de refrigeración y bombas de agua de refrigeración;

B. Las unidades de aire acondicionado y las unidades de procesamiento de aire acondicionado deben disponerse de forma centralizada;

C. Características: Esta solución puede ser un aire de retorno primario o un aire de retorno secundario, dependiendo del tamaño del taller, este tipo de solución generalmente se puede aplicar a salas blancas libres de polvo con niveles de limpieza de 1.000, 10.000, 100.000, etc. edificio.

3. Análisis del plan de diseño de ingeniería de purificación para la industria de la microelectrónica óptica: gabinete de aire acondicionado split salida de suministro de aire FFU

Esta es la solución de aire acondicionado más simple. El gabinete del aire acondicionado dividido está dispuesto directamente en el taller y cerrado con acero de color. Se abre una salida de aire de retorno (con un filtro primario) en la placa de acero de color en la salida de aire de retorno del gabinete. Dispuesto uniformemente en el taller. Esta solución es adecuada para talleres libres de polvo que no tienen altos requisitos de precisión de temperatura y humedad interior.

Ventajas:

A. No necesita ocupar el área de la sala de computadoras y el diseño es muy flexible;

B. aire;

C.El menor coste. La inversión inicial para un taller libre de polvo es de unos 400.000 yuanes;

D El suministro de aire tiene buena uniformidad.

Desventajas:

A. Mal control de la temperatura y la humedad;

B. Puede cumplir con la limpieza del aire.

C. FFU La frecuencia de mantenimiento es alta.

4. Características del taller libre de polvo analizadas en el esquema de diseño de ingeniería de depuración de la industria de la microelectrónica óptica

A.

El proceso simple de fabricación de una pantalla LCD es: limpiar → imprimir una película de alineación → frotar → sellar la capa de impresión y extender los espaciadores → ensamblar → trazar y cortar → inyección LC → colocar el polarizador → inspección final de la fabricación de la pantalla.

En este diseño se refiere a unos talleres libres de polvo del proceso final, y su limpieza de depuración es generalmente de mil, diez mil o cien mil. Los talleres libres de polvo de pantallas de retroiluminación son principalmente talleres de estampado, ensamblaje y otros talleres libres de polvo para dichos productos, y su limpieza es generalmente de Clase 10.000 o Clase 100.000.

B. Requisitos de los parámetros del aire interior:

(1) Requisitos de temperatura y humedad: la temperatura es generalmente de 24 2 ℃ y la humedad relativa es de 55 5.

(2) Gran volumen de aire fresco. Dado que hay mucha gente en este tipo de taller, se pueden tomar los siguientes valores máximos en base a los siguientes valores: 10-30 del volumen total de suministro de aire de la sala limpia de flujo no unidireccional, el aire fresco necesario para compensar; para el aire de escape interior y mantener la presión positiva interior. El volumen de aire debe garantizar que el volumen de aire fresco por persona por hora en la habitación sea ≥40 m3/h.

(3) Gran volumen de suministro de aire.

Para lograr el equilibrio de limpieza y calor y humedad en la sala limpia, se requiere un gran volumen de suministro de aire. Para un taller de 300 metros cuadrados, la altura del techo es de 2,5 metros. Si es de 10.000 niveles, el volumen de suministro de aire debe ser mayor. ser 300×2,5×30= El volumen de suministro de aire es 22500m3/h (el número de cambios de aire es ≥25 veces/h si es 100.000, el volumen de suministro de aire requiere 300×2,5×20=15000m3/h); número de cambios de aire es ≥15 veces/h).

Análisis del esquema de diseño de ingeniería de purificación en la industria de la microelectrónica óptica

Para el diseño de acondicionadores de aire para salas blancas en fábricas de electrónica convencional, ¿cuál debe seleccionarse en función de los requisitos del proceso de producción de ¿La fábrica de productos electrónicos y las condiciones económicas del Partido A? ¿Un tipo de esquema de diseño de aire acondicionado se basa en el requisito previo para cumplir con los requisitos del proceso de producción? Según la experiencia pasada, para aquellos con altos requisitos, puede elegir la solución de aire acondicionado con procesamiento centralizado mediante unidades de tratamiento de aire combinadas; para aquellos con bajos requisitos y baja inversión inicial, puede elegir gabinete FFU. En resumen, la selección del programa específico depende de la situación específica. ●El tratamiento de purificación del aire en todos los niveles de limpieza del aire en el proyecto de purificación debe utilizar filtración de tres etapas de filtros de aire de eficiencia primaria, media y alta. Para un tratamiento de purificación de aire de 100.000 niveles, se pueden utilizar filtros de aire de baja eficiencia en lugar de filtros de aire de alta eficiencia.

●El método de selección, diseño e instalación de los filtros de aire debe cumplir con: los filtros sumergidos en aceite no deben usarse como filtros de aire de eficiencia primaria; los filtros de aire de eficiencia media deben ubicarse centralmente en el centro de; la sección de presión del sistema de aire acondicionado purificado; los filtros de aire de alta eficiencia o los filtros de aire de baja eficiencia deben instalarse al final del sistema de aire acondicionado purificado. El método de instalación de los filtros de aire de alta eficiencia debe ser simple y confiable. y se deben realizar la detección y reemplazo de fugas; se deben instalar filtros de aire de eficiencia media, sub-alta y alta eficiencia al final del sistema de purificación de aire acondicionado con filtros de aire de alta eficiencia; similar resistencia y eficiencia deberían instalarse en el mismo taller de depuración.

●Al determinar un sistema de aire acondicionado de purificación centralizado o descentralizado, se deben considerar de manera integral factores como las características del proceso de producción y el nivel de limpieza, el área y la ubicación del aire en el taller de purificación. Cuando el proceso de producción es continuo, la sala limpia o el área del taller de purificación es grande, la ubicación es concentrada y la sala limpia tiene estrictos requisitos de control de ruido y vibración, se debe utilizar un sistema de aire acondicionado de purificación centralizado.

●Si se requiere calefacción eléctrica para el sistema de aire acondicionado purificado, se debe utilizar un calentador eléctrico tubular y la ubicación debe disponerse en el lado contra el viento del filtro de aire de alta eficiencia y se deben tomar medidas de seguridad contra incendios. debe tomarse.

●El soplador de aire se puede seleccionar de acuerdo con el volumen total de suministro de aire y el valor de resistencia total del sistema de purificación de aire acondicionado. La resistencia de los filtros de aire de eficiencia media y alta debe calcularse como el doble. resistencia inicial.

●Además del sistema de CC y el sistema con ventiladores en servicio, el sistema de aire acondicionado purificado en el proyecto de purificación debe tomar medidas antiinundación para evitar que aire contaminado del exterior ingrese al taller de purificación a través del Nueva salida de aire.

●El diseño del sistema de purificación de aire acondicionado debe hacer un uso razonable del aire de retorno cuando el proceso produce una gran cantidad de sustancias nocivas y el tratamiento local no puede cumplir con los requisitos higiénicos o es perjudicial para otros procesos. No se debe utilizar aire de retorno.