¿Cómo llegaron a ser tan importantes la "máquina de grabado" y la "máquina de fotolitografía"?
El grabado es más fácil que la fotolitografía. La máquina de fotolitografía imprime el diseño y luego la máquina de grabado elimina las partes estampadas (o no estampadas) de acuerdo con el patrón impreso, dejando el resto.
¿Litografía? Se refiere a cubrir la oblea (u oblea de silicio) recubierta con fotoprotector con una fotomáscara prefabricada y luego irradiar la oblea con rayos ultravioleta a través de la fotomáscara durante un cierto período de tiempo. El principio es utilizar luz ultravioleta para provocar que parte del fotoprotector se deteriore y se corroa fácilmente.
¿Grabado? Después de la fotolitografía, el fotorresistente deteriorado (resistente positivo) se elimina con una solución de grabado y el dispositivo semiconductor y su patrón de conexión se muestran en la superficie de la oblea. Luego se utiliza otra solución de grabado para grabar la oblea y formar dispositivos semiconductores y sus circuitos.
Yin Zhiyao nació en una familia patriótica en Beijing del 65438 al 0944. Su abuelo era un estudiante financiado con fondos públicos que estudiaba en el extranjero, y su padre también estudió en Japón y luego regresó a su patria para contribuir al país.
Yin Zhiyao fue admitido con éxito en el Departamento de Física Química de la Universidad de Ciencia y Tecnología de China en 1962. Después de graduarse en 1968, fue asignado a trabajar en la Refinería de Petróleo de Lanzhou y en el Instituto de Química Física de Lanzhou, Academia de Ciencias de China. En 1978, Yin Zhiyao continuó sus esfuerzos y obtuvo la maestría en Química en la Universidad de Pekín. En 1980 ingresó a la UCLA para continuar sus estudios.
Después de eso, Yin Zhiyao trabajó en Silicon Valley durante 20 años, tiempo durante el cual se unió a Intel por primera vez. En 1986, Yin Zhiyao fue invitado a unirse a L5M y fue el principal responsable de la investigación y el desarrollo de equipos de grabado por plasma. En 1991, Applied Materials le pidió que fuera el director técnico y de ingeniería de su sede de grabado por plasma. Para evitar problemas de propiedad intelectual, dirigió a su equipo para empezar desde cero. En sólo 9 años, Applied Materials ocupó el 40% del mercado internacional de equipos de máquinas de grabado.
En la industria de los semiconductores, Yin Zhiyao posee 86 patentes estadounidenses y más de 200 patentes de varios países, y es reconocido como uno de los chinos más exitosos en Silicon Valley.
Sin embargo, cuando se jubiló a la edad de 60 años, Yin Zhiyao tomó una decisión audaz. Regresó a casa con un equipo de 15 personas. En 2004, fundó Zhongwei Semiconductor Company, que permitió a China romper el monopolio tecnológico de las máquinas de grabado y sentó las bases para la producción independiente de chips en China. Hoy en día, la máquina de grabado producida por Zhongwei Semiconductor Company ha logrado un avance de entre 100 y 1.000 millones de palabras sobre los granos de arroz. La contribución de Yin Zhiyao a la patria sigue ahí.