¿Qué es una máquina de litografía?
La máquina de litografía, también conocida como máquina de exposición de alineación de máscaras, sistema de exposición y sistema de litografía, es el equipo principal para la fabricación de chips. Las máquinas de litografía generalmente se dividen en tres tipos según la simplicidad de su funcionamiento: manuales, semiautomáticas y totalmente automáticas:
1. Manual: se refiere al método de ajuste de alineación, es decir, cambiando su eje X. La alineación se completa con el eje Y y este ángulo, pero la precisión de la alineación no es alta.
2. Semiautomático: Significa que el posicionamiento y alineación se puede realizar mediante el eje eléctrico según el CCD.
3. Automático: se refiere a la carga y descarga desde el sustrato. La duración y el período de exposición están controlados por el programa. Las máquinas de fotolitografía automática satisfacen principalmente las necesidades de capacidad de procesamiento de la fábrica.
Según las diferentes rutas técnicas adoptadas, las marcas de máquinas de litografía se pueden dividir en las siguientes categorías:
Las máquinas de litografía de proyección de alta gama se dividen en dos tipos: proyección escalonada y proyección de escaneo. máquinas de litografía. La resolución suele oscilar entre 7 nanómetros y unas pocas micras. Las máquinas de litografía de alta gama son conocidas como los instrumentos más precisos del mundo. Las máquinas de litografía de alta gama son la flor de la industria óptica moderna. Es difícil de fabricar y sólo unas pocas empresas en el mundo pueden fabricarlo.
Las marcas extranjeras son principalmente ASML de los Países Bajos (lentes de Alemania), Nikon de Japón (máquinas de litografía de alta gama, Intel una vez le compró Nikon) y Canon de Japón. SMEE Company, ubicada en Shanghai, China, desarrolló una máquina de litografía de proyección de rango medio con derechos de propiedad intelectual independientes, formó una serie de productos e inicialmente logró ventas nacionales y extranjeras.
La producción de RD y otras series de productos está en curso. Las máquinas de litografía de gama baja utilizadas en líneas de producción y RD son máquinas de litografía de proximidad y de contacto, con resoluciones normalmente superiores a unas pocas micras. Incluye principalmente sus marcas alemanas, MYCRO NXQ4006 estadounidense y chinas.