El papel y uso de los alineadores de mascarillas.
La máquina de fotolitografía determina el tamaño preciso del chip. El diseñador diseña el circuito del chip y luego utiliza la máquina de fotolitografía para grabar el circuito en el chip. La escala suele estar por encima del nivel de micras. La máquina de litografía es el equipo más caro y técnicamente más difícil en la producción de chips, porque determina la estructura general y las funciones del chip.
De hecho, no es difícil producir chips de alta precisión, pero la velocidad de producción es demasiado lenta. Las máquinas de fotolitografía pueden producir rápidamente chips de alta precisión, por lo que es muy importante. La luz del alineador de máscara se utiliza para exponer la oblea recubierta de fotorresistente a través de una fotomáscara estampada. Cuando se expone el fotoprotector, sus propiedades cambian, lo que permite que el patrón de la fotomáscara se copie en la hoja, lo que permite que la hoja funcione como un diagrama de circuito electrónico.
Sistema de alineación
La fabricación de sistemas de alineación de alta precisión requiere una tecnología mecánica de precisión casi perfecta, que es también una de las dificultades técnicas que las máquinas de fotolitografía domésticas no pueden igualar. Muchas marcas estadounidenses y alemanas de máquinas de litografía tienen diseños de tecnología mecánica patentados especializados. Por ejemplo, la máquina de litografía Mycron&q adopta una tecnología patentada de diseño de cojinetes totalmente neumáticos, que evita de manera efectiva los errores de proceso causados por la fricción mecánica de los cojinetes.
Otro problema técnico con los sistemas de alineación es la alineación del microscopio. Para mejorar el campo de visión del microscopio, muchas máquinas de litografía de alta gama utilizan iluminación LED. Hay dos sistemas de alineación con capacidades de enfoque. Principalmente, un par de cuerpos de microscopio, oculares y objetivos se alinean mediante binoculares y campos de visión duales (las máquinas de fotolitografía suelen proporcionar oculares y objetivos con diferentes aumentos para que los usuarios los utilicen en combinación).