La única empresa cotizada de máquinas de litografía

La única empresa que cotiza en bolsa para máquinas de litografía de máscaras es Zhangjiang Hi-Tech Company. Las máquinas de litografía de máscaras, también conocidas como máquinas de exposición de alineación de máscaras, sistemas de exposición y sistemas de litografía, son el equipo principal para la fabricación de chips. Utiliza una tecnología similar a la impresión fotográfica, en la que se imprimen finos patrones de una máscara en obleas de silicio mediante exposición.

Existen muchas marcas de máquinas de litografía, que se pueden dividir en las siguientes categorías según diferentes rutas técnicas:

1. Las máquinas de litografía de proyección de alta gama se dividen en dos tipos: Máquinas de litografía de proyección escalonada y de proyección por escaneo, con resoluciones que suelen oscilar entre siete nanómetros y unos pocos micrómetros. Las máquinas de litografía de alta gama son conocidas como los instrumentos más sofisticados del mundo. Hay 65438+200 millones de dólares estadounidenses en máquinas de litografía en el mundo. Las máquinas de litografía de alta gama pueden considerarse la flor de la industria óptica moderna. Son tan difíciles de fabricar que sólo unas pocas empresas en el mundo pueden fabricarlas. Las principales marcas extranjeras son ASML de los Países Bajos (lentes de Alemania), Nikon del Japón (máquinas de fotolitografía de alta gama; Intel alguna vez le compró Nikon) y Canon del Japón.

2. La empresa SMEE ubicada en Shanghai, China, desarrolló una máquina de litografía de proyección de rango medio con derechos de propiedad intelectual independientes, formó una serie de productos e inicialmente logró ventas nacionales y extranjeras. Se están realizando actividades de I+D y producción de otras series de productos.

3. Las máquinas de litografía de gama baja utilizadas en las líneas de producción y en I+D son máquinas de litografía de proximidad y de contacto, con resoluciones normalmente superiores a unas pocas micras. Incluye principalmente sus marcas alemanas, MYCRO NXQ4006 estadounidense y chinas.

Los principales indicadores de rendimiento de la máquina de litografía incluyen: rango de tamaño de sustrato admitido, resolución, precisión de alineación, método de exposición, longitud de onda de la fuente de luz, uniformidad de la intensidad de la luz, eficiencia de producción, etc.

1. La resolución es una descripción de la precisión de línea más fina que la fotolitografía puede lograr. La resolución de la litografía está limitada por la difracción de la fuente de luz y, por lo tanto, por la fuente de luz, el sistema de litografía, el fotorresistente y el proceso.

2. La precisión de la alineación se refiere a la precisión de posicionamiento de los patrones entre capas durante la exposición multicapa.

3. Los métodos de exposición se dividen en contacto de proximidad, proyección y escritura directa.

4. La longitud de onda de la fuente de luz de exposición se divide en regiones ultravioleta, ultravioleta profunda y ultravioleta extrema. Las fuentes de luz incluyen lámparas de mercurio y láseres de excímeros.